真空装置やプラズマ等の高エネルギー付与を必要とせず、低コストかつ省エネルギーな成膜方法のひとつとして、噴霧堆積成膜法に取り組んでいます。噴霧堆積成膜法は、超音波噴霧器などを用いて発生させた微粒液滴を基板に噴霧、堆積させて成膜する手法です。
本研究室の噴霧堆積成膜装置には、原料を含む原料溶液と、酸化剤などを含む反応溶液をそれぞれ別に噴霧できるよう2系統の噴霧ノズルが備わっており、送液ポンプによって噴霧量を制御できるようになっています。
　この装置を用いて酸化タングステン膜の成膜技術の確立と、得られた膜の光学的特性の評価を実施しています。
基板として透明導電膜を用い、その上に酸化タングステン膜を成膜した後、反対電極と組み合わせて電解液を注入して作成した、調光機能を持つ調光膜デバイスは、電圧を印加しない状態では透明ですが、電圧を加えることで濃青色へと可逆的に変化します。現在は、成膜時の各種パラメータが膜の濃淡差や着色・消色の調光速度におよぼす影響を明らかにすることを目指し、研究を行っています。
　当該技術を活用した研究開発に興味のある企業との共同研究を希望します。
 

秋田工業高等専門学校 創造システム工学科 物質・生物系 教授 西野 智路