2014-08-27
保有機関 | 秋田大学 |
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設置場所 | 秋田大学地方創生センター1号館 |
秋田大学大学院国際資源学研究科 資源開発環境学専攻 高崎康志
名称 | 数量 | 型番 |
超分解能電界放射型走査型電子顕微鏡本体 | 1 | 日立 走査型電子顕微鏡SU-70 |
エネルギー分散型X線分析装置 | 1 | オックスフォード社INCA Energy 51-XMX00006 (INCA Energy) |
波長分散型X線分析装置 | 1 | オックスフォード社INCA WAVE |
結晶方位解析装置 | 1 | オックスフォード社 HKL Channel5 |
マグネトロン方式 試料蒸着装置 | 1 | 日立 マイルドスパッタE-1045 |
フラットミリング装置 | 1 | 日立 フラットミリング 装置IM-3000形 |
二次電子像分解能が1.0nm以下(加速電圧15kV時),倍率は25~800,000倍.
加速電圧は0.5~30kVの範囲で0.1kVステップで可変.ステージ制御は5軸モーター駆動で,移動可能範囲はX:0~110mm,Y:0~110mm,Z(WD):1.5~40.0mm,T(傾斜角):-5~70度,R(回転角):360度.最大試料サイズは150mmφ.オプションとしてEDX,WDX,EBSP,反射電子検出器,透過電子検出器も付属.他に,前処理用の白金/カーボンコーティング,イオンミリング装置を設置.
1,470円/時
秋田大学地方創生センター1号館 101研究室
超微細形状の観察,付着物の検査,材質・不純物・欠陥等の観察.レアメタルを含む廃棄物からの有用金属の回収において,ナノオーダーの元素分布等の観察.
秋田大学 地方創生センター
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