超分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
2014-08-27
| 保有機関 | 秋田大学 |
|---|---|
| 設置場所 | 秋田大学地方創生センター1号館 |
概要・用途
管理担当者
秋田大学大学院国際資源学研究科 資源開発環境学専攻 高崎康志
設備構成
| 名称 | 数量 | 型番 |
| 超分解能電界放射型走査型電子顕微鏡本体 | 1 | 日立 走査型電子顕微鏡SU-70 |
| エネルギー分散型X線分析装置 | 1 | オックスフォード社INCA Energy 51-XMX00006 (INCA Energy) |
| 波長分散型X線分析装置 | 1 | オックスフォード社INCA WAVE |
| 結晶方位解析装置 | 1 | オックスフォード社 HKL Channel5 |
| マグネトロン方式 試料蒸着装置 | 1 | 日立 マイルドスパッタE-1045 |
| フラットミリング装置 | 1 | 日立 フラットミリング 装置IM-3000形 |
測定原理・その他の詳細
二次電子像分解能が1.0nm以下（加速電圧15kV時），倍率は25～800,000倍．
加速電圧は0.5～30kVの範囲で0.1kVステップで可変．ステージ制御は5軸モーター駆動で，移動可能範囲はX：0～110mm，Y：0～110mm，Z（WD）：1.5～40.0mm，T（傾斜角）：-5～70度，R（回転角）：360度．最大試料サイズは150mmφ．オプションとしてEDX，WDX，EBSP，反射電子検出器，透過電子検出器も付属．他に，前処理用の白金／カーボンコーティング，イオンミリング装置を設置．
使用料
1,470円/時
設置場所
秋田大学地方創生センター1号館 101研究室
使用例
超微細形状の観察，付着物の検査，材質・不純物・欠陥等の観察．レアメタルを含む廃棄物からの有用金属の回収において，ナノオーダーの元素分布等の観察．
総合問い合わせ窓口
秋田大学 地方創生センター
〒010-8502秋田市手形学園町１－１
Tel : 018-889-2680
E-mail: chihosose1@gipc.akita-u.ac.jp
