真空装置やプラズマ等の高エネルギー付与を必要としない、低コストで省エネルギーな成膜方法のひとつとして、噴霧堆積成膜法について取り組んでいます。噴霧堆積成膜法は、超音波噴霧器などを用いて発生した微粒液滴を基板に噴霧、堆積させて成膜する手法です。
　本研究室の噴霧堆積成膜装置は、原料を含む原料溶液、酸化剤などを含む反応溶液をそれぞれ別に噴霧できるよう2系統の噴霧ノズルを有しており、送液ポンプにより噴霧量を制御できるようになっています（写真１）。
　この装置を用いると、酸化タングステン膜の成膜技術の確立と得られた膜の光学的特性の評価を実施できます。とくに、基板として透明導電膜を用いて成膜した酸化タングステン膜と反対電極を組み合わせて電解液を注入し、調光能を示す調光膜デバイスの作製に関心をもっています。得られた調光膜デバイスは、電圧を無印加状態では透明ですが、電圧印加状態では濃青色へと可逆的に変化します（写真２）。
　現在は、成膜時における各種パラメータが印加電圧による膜の濃淡差や着色と消色の調光速度などにおよぼす影響を明らかにすることを目指して研究をおこなっています。
　当該技術を活用した研究開発に興味がある企業様との共同研究を希望します。

秋田工業高等専門学校 創造システム工学科 物質・生物系　准教授　西野 智路